1 cn****5.9 湿法腐蚀制造微机械电容式加速度传感器及其结构
2 cn**36742.6 一种高固有频率的量程可达200万m/s2的微机械加速度传感器
3 cn**20366.0 一种快速**手闸的机械传感器
4 cn01811623.x 用于检测力或振动的机械电传感器
5 cn03129302.6 微机械传感器气密封装用等温凝固方法
6 cn95194455.x 微型机械记忆传感器
7 cn89104906.1 机械传感器
8 cn89100488.2 拉线机械传动输出电量的长度、角度测量的传感方法和拉线机械传动输出电量的长度,角度传感器
9 cn91103380.7 机械扫描式焊缝跟踪光电传感器
10 cn99803**.x 根据**位置测量机械压力变形和根据该压力自动进行校正的形变测量传感器
11 cn200580044862.3 振荡微机械角速度传感器
12 cn200610053558.1 硅微机械谐振式微压传感器芯片的结构及制造方法
13 cn200680**779.9 微机械运动传感器的制造方法以及微机械运动传感器
14 cn200710196832.5 工作机械中的温度传感器的异常检测方法
15 cn200710300105.9 工作机械中的温度传感器的异常检测方法
16 cn200680022953.1 微机械加工的麦克风和多传感器及其制造方法
17 cn200680024868.9 微机械传感器、传感器阵列和方法
18 cn200680025913.2 通过机械微创外科手术过程中联合传感器和/或照相机导出数据实现3-d刀具跟踪的方法与系统
19 cn200810009229.6 用于**束带压力测量的外部机械压力传感器
20 cn200610112937.3 微机械硅谐振式气体流速传感器
21 cn200710139610.x 微机械热流式传感器的加工方法
22 cn200410064949.4 基于微机械加工的风速传感器及其制造方法
23 cn200410064684.8 在线微波功率微机械传感器及其制造方法
24 cn200410064748.4 直接加热终端式微电子机械系统微波功率传感器及其制备方法
25 cn200410041882.2 间接加热终端式微波功率微机械传感器及其制备方法
26 cn200410091549.2 共振隧穿微机械力传感器及其制造方法
27 cn200410065873.7 光纤微电子机械系统压力传感器及其复用结构
28 cn200410101006.4 提高单梁结构微机械谐振压力传感器激励性能的方法
29 cn200510008053.9 湿法腐蚀制造的微机械电容式加速度传感器
30 cn03814399.2 在纺织机械中用于评测传感器信号的方法和装置
31 cn200480018294.5 六自由度微机械多传感器
32 cn200510111362.9 三维集成微机械加速度传感器及制作方法
33 cn02822246.6 机械感测装置和冲撞能量传感器
34 cn2005**2602.x 量程可机械调理的应变传感器及其制造方法
35 cn200510089698.x 高灵敏度的电容性显微机械加工的超声波传感器
36 cn2005**2884.3 微机械角加速度传感器
37 cn200480003438.x 建筑机械中臂角度传感器装置
38 cn200510130477.2 纳米结构微机械生化传感器
39 cn200610046364.9 一种机械字轮计数器非接触读数传感器及设计方法
40 cn200610026522.4 一种基于微电子机械系统的光学电流传感器、制作及检测方法
41 cn200610040599.7 基于微机械系统的非热式流速流向传感器
42 cn200610040600.6 基于微机械技术的电容非热式流速传感器
43 cn200610040701.3 基于微机械技术的压阻非热式流速流向传感器
44 cn2006**2108.8 电阻拾振式硅微机械谐振传感器的锁相闭环系统
45 cn200510026035.3 微机械压力传感器及其圆片级封装方法
46 cn200610089391.4 电阻拾振式硅微机械谐振传感器的数字锁相闭环
47 cn200610089390.x 电阻拾振式硅微机械谐振传感器的数字锁相闭环
48 cn200610092829.4 尤其用于地面输送机械的电转向装置的旋转角传感器
49 cn200510088633.3 采用微机械加工热隔离结构的热式传感器及其制造方法
50 cn200510092880.0 单片单晶硅微机械加工的电容式压力传感器
51 cn200610029423.1 基于(111)硅的微机械加速度传感器及制造方法
52 cn200610114276.8 电磁-压阻式微机械谐振梁传感器
53 cn200510096134.9 微机械式三轴角速率传感器
54 cn2005**5413.8 机械式计数器传感器
55 cn200610118484.5 微机械电容式加速度传感器及制作方法
56 cn200610098136.6 硅微机械两维倾角传感器芯片及制作方法
57 cn200610165575.4 一种“中”字形谐振式硅微机械压力传感器
58 cn200610165574.x 具有**敏感单元的谐振式硅微机械传感器
59 cn200610169643.4 集成光栅干涉微机械加速度传感器及其制作方法
60 cn200610147846.3 扭转模态下的硅微机械悬臂梁传感器驱动结构、制作方法及应用
61 cn200710**134.1 无线接收式微电子机械微波功率传感器及其制备方法
62 cn2007**7300.0 可抵消机械振动信号的压电式次声波传感器
63 cn200710**764.9 双热电堆平衡式微电子机械微波功率传感器及其制备方法
64 cn200710072230.9 双自由度双解耦微机械振动陀螺传感器
65 cn200710068643.x 基于可变直径微光纤环的光学微机械加速度传感器及其方法
66 cn200710022367.3 用于风向传感器封装的微电子机械传感器封装结构
67 cn200710024494.7 多层梁结构的电容式微机械温度传感器
68 cn201010553512.2 一种微机械cmos热电堆红外测温传感器
69 cn201110002997.0 基于微电子机械微波功率传感器可重构的微波**前端
70 cn201110040678.9 基于低维纳米材料的测量机械形变的传感器
71 cn201110008084.x 具有两个敏感轴和耦合的检测模式的微机械旋转速率传感器
72 cn201110063648.x 大型机械装备光纤光栅震动检测方法及检测传感器
73 cn201110145908.8 一种机械式超速传感器
74 cn201110098540.4 微电子机械系统电容式相对湿度传感器
75 cn200980152544.7 根据**时间原理的具有用于机械弹性密度波的磁阻检测器单元的磁致伸缩位置传感器
76 cn201110125993.1 微机械传感器及相应的测量方法
77 cn20101**8423.2 一种基于微电子机械技术的硅谐振式气压传感器
78 cn201110229397.8 呈120°角三通道微电子机械微波功率传感器及制备方法
79 cn201110229443.4 五端口基于微机械悬臂梁电容型微波功率传感器及制备
80 cn201080014785.8 微机械角速度传感器
81 cn201110364699.6 微电子机械导热介质填充终端式微波功率传感器及制备方法
82 cn201110229120.5 五端口基于微机械固支梁电容型微波功率传感器及制备
83 cn201110229449.1 呈90°角四输入微电子机械微波功率传感器及制备方法
84 cn201110229467.x 四输入微机械固支梁热电式微波功率传感器及制备方法
85 cn201080018949.4 微机械传感器
86 cn201080018950.7 微机械传感器
87 cn03132188.7 一种硅微机械倾角传感器和制作方法
88 cn01821908.x 表面微型机械加工的**压力传感器及其制造方法
89 cn03157391.6 用于微机械传感器的半频驱动及闭环方法
90 cn03138275.4 机械形变量检测传感器
91 cn200310112820.1 光-机械式微梁阵列热型红外图象传感器
92 cn20071010**2.2 用于塑料加工机械的传感器和这种传感器的运行方法
93 cn200580048189.0 带有双膜片的微机械膜片传感器
94 cn200580044879.9 振荡微机械角速度传感器
95 cn200480037196.6 机械运动传感器以及低功率触发电路
96 cn200710132952.9 微电子机械可重构宽频带微波功率传感器及其制备方法
97 cn200680028076.9 用于微机械测量加速度的方法和微机械加速度传感器
98 cn200810**21.x 一种双谐振梁式微机械压力传感器
99 cn200810088654.9 机械绳索升降机线缆的感应传感器的监控装置
100 cn200710098680.5 一种基于微电子机械技术的电磁微扭摆谐振式传感器
101 cn200810124428.1 微机械二维风速风向传感器及其信号处理电路
102 cn200780008**.9 微机械的转速传感器
103 cn20081**2202.7 微机械传感器或致动器组件及其生产方法
104 cn200810188856.0 用于测量机械臂或机械手角度的传感器标定方法及装置
105 cn200910046040.9 一种基于表面微机械加工的**压力传感器芯片及制作方法
106 cn200910119770.7 微电子机械系统次声传感器阵列遥感勘测系统
107 cn200910025825.8 电容式硅微机械雨量传感器
108 cn200910022452.9 可抵消机械振动信号的压电式次声波传感器
109 cn200780046073.2 通过机械地移动至少一个磁体来将磁力应用到生物传感器表面的系统
110 cn200780045820.0 微机械的z传感器
111 cn200780048385.7 微机械多轴加速度传感器
112 cn200780048440.2 具有到机械地的电容联接排斥的集成传感器
113 cn200910160724.1 微机械式传感器元件及其制造方法和运行方法
114 cn200810118731.0 一种微机械电容式风速风向传感器
115 cn200910070587.2 一种双旋**机械式流量传感器及其工作方法
116 cn200880020433.6 具有模拟复位的电容式微机械传感器的工作方法和电路结构
117 cn200910175173.6 在非对称质量分布情况下具有对称面结构的微机械传感器
118 cn200880017640.6 角速度测量方法和振动微机械角速度传感器
119 cn200880118174.0 用于微机械固体声传感器的电路和用于运行微机械固体声传感器的方法
120 cn20101**7881.4 适用于机械设备振动检测的无线传感器网络节点
121 cn20091**1502.8 六自由度微机械多传感器
122 cn200910155715.3 基于光纤多模干涉效应的光学微机械加速度传感器及方法
123 cn200880015832.3 使用钛基超弹性合金的压力和机械传感器
124 cn20091**5327.x 结合机械旋转镜用于创建2d图像的辐射电线传感器
125 cn201010104147.7 三明治式光学微机械加速度传感器
126 cn200880109941.1 振动微机械角速度传感器
127 cn201010129773.1 一种离**式微机械加速度传感器无线标定系统
128 cn201010204229.9 微机械气压传感器芯片的封装结构及其制备方法
129 cn20101016**0.9 一种微电子机械传感器的被动光学反馈控制方法及装置
130 cn200880101330.2 微机械转动率传感器
131 cn201010236921.x 微机械式旋转速率传感器
132 cn200880108270.7 预塌陷的电容微机械超声传感器的制造及其应用
133 cn200980111755.6 微机械式加速度传感器
134 cn201010267759.8 用于对机械部件进行环境监测的传感器系统以及用于控制和分析该传感器系统的方法
135 cn201010286120.4 用于光-机械式热型红外传感器的高性能热变形梁及其应用
136 cn201010566556.9 一种微电子机械传感器的选择性模态自激励方法及装置
137 cn201010561312.1 微电子机械系统开关、运动传感器及运动传感方法
138 cn200980122679.9 振动型微机械角速度传感器
139 cn201110003103.x 基于在线式微电子机械微波功率传感器的微波**前端
140 cn201110098551.2 快速响应的微电子机械系统相对湿度传感器
141 cn201010240182.1 微电子机械定向耦合式微波功率传感器及其制备方法
142 cn201110183221.3 用于测量加速度、压力和类似参数的微机械的传感器装置
143 cn201080008234.0 适于对给纺织机械的纱馈送进行控制的可编程传感器及用于对其编程的方法
144 cn201110229446.8 三通道微机械固支梁间接式微波功率传感器及制备方法
145 cn201080015565.7 振动型微机械角速度传感器
146 cn20111**8954.6 用于建设机械的传感器装置
147 cn201010251499.5 基于微机械的电磁激励谐振式压力传感器
148 cn201110229127.7 三通道微机械悬臂梁间接式微波功率传感器及制备方法
149 cn201110229109.9 呈72°角五端口微电子机械微波功率传感器及制备方法
150 cn201110311526.8 基于硅通孔技术的硅晶圆直接键合的微机械加速度传感器
151 cn201080028951.x 用于微机械旋转速率传感器的**测量操作的方法
